株式会社サーモ理工-赤外線加熱装置周辺機器、温度センサー
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サーモ理工の熱処理装置向けオプションを多数準備しています。
加熱システム向けオプション関連製品は、下記の通りです。
高真空排気装置 HC80V
全圧型真空計 PK361
冷却水循環装置
真空排気系
真空チャンバー内を排気するポンプも各種取り扱っております。
ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ、ドライポンプ等真空ポンプ、各種真空計、バルブやフレキシブルチューブなどの真空配管等、ご希望の実験内容に合わせご提案致します。

下記製品が弊社標準システムの推奨品です。
大気圧から10-5Paまで連続排気ができます。
ボタン一つで動作する使いやすいモデルです。
型  番 HC80V
 寸  法 300×300×338mm
 到達可能真空度 大気圧〜10-5Pa
 接続規格 NW40 又は ICF114
 
大気圧から10-7Paまで連続計測ができます。
型  番 PK360 PK361
 寸法(測定子
 フランジ部除く)
44×44×94 44×44×102
 寸法(表示器) 71×129×219 
 測定真空度 1×10-7Pa  5×10-9Pa
 接続規格 NW25 ICF70
サーモ理工の加熱装置は、一部製品を除き水冷が必要です。
冷却能力とポンプ能力から、下記製品が推奨品です。
型  番 HRS012-A10Y
 寸  法 377×500×615mm
 冷却能力 1100W
 ポンプ能力 0.13MPa
 
赤外線加熱の特性に合わせたセンサーをご提案致します。
放射温度計や各種熱電対を取り扱っています。
温度センサー関連製品は、下記の通りです。
移動式温度センサー RS250V / KS250V
赤外線温度センサー IR3S
直線移動機構付熱電対です。
ICFフランジ付シース熱電対で、超高真空中で熱電対を接触・隔離ができます。
ロードロック室から搬送された試料の測温に最適です。
また、熱電対を水平移動させることで温度分布の測定も行えます。
型  番 測定温度範囲
 RS250V RT〜1700℃(真空中)
 KS250V RT〜1200℃(真空中)

RS250V-KS250V-ill
試料温度を非接触で計測できます。
センサーヘッドは、ICF70ビューポート等に取り付け出来ます。
LED照準を搭載し、測定位置合わせが簡単です。
熱処理装置の温度制御は、TP910VT型温度制御器と組み合わせて行ないます。
温度範囲や波長など、各種準備しております。
型  番 測定温度範囲
 IR3S-P300 300〜2000℃