サーモ理工-電気炉-優れた温度分布・昇温降温が早い電気炉
  TOP製品案内 > 均温熱処理装置 GFシリーズ
優れた均温特性を持つ管状炉です。
炉長の約7割が均一な温度になりますので、大きな試料や複数の試料を同時に処理できます。
試料に合わせてホルダーをカスタマイズできます。(オプション)
優れた均温特性
真空、大気、ガスフロー等各種加熱条件に対応。(超高真空モデルもあります。)
昇降温速度が早い
 
シリコンウエハー、セラミックス、圧電材料等の熱処理
加熱中電気抵抗測定
CVD装置
カーボンナノチューブの作成
粉体試料の加熱
大型生産炉の加熱条件確認
鉄鋼材、金属材料の焼鈍
昇温中試料への紫外光照射
単結晶の生成
均温熱処理装置には、炉の大きさにより下記のモデルがあります。
モデル名 GFA430VN GFA430UHV GFB450 GFC650V
 最高到達温度 1000℃
 常 用 温 度 900℃
 均 温 容積 約φ36mm×200mm 約φ36mm×350mm 約φ55mm×300mm 
 昇 温 速 度 室温から1000℃まで30min 
 降 温 速 度 1000℃から100℃まで約1H (強制空冷で約30min)
 最大到達真空度 5×10-4Pa 5×10-6Pa 5×10-4Pa
 電  力 1.5kW 2kW 3kW
 冷却水量 1L/min 不要 1L/min
GFA430VN型
GFA430UHV型
GFB450型
GFC650V型
特注品
卓上サイズで熱処理できるベストセラー器です。
小型ながらφ36×200mmの均温容積を持ち、複数の試料を同時処理できます。
両端の真空フランジ部にはNW40と1/4パイプ継手があり、真空置換後にガスフローしながら試料を加熱できます。
GFA430VN
超真空フランジ付片閉じ炉心管を使用し、10-6Paの超高真空中加熱ができます。
酸化を嫌う金属の加熱に最適です。
ロードロック室や試料搬送などのオプションもご用意しております。
GFA430UHV
GFAの炉長を500mmに伸ばしたモデルです。
長い試料を加熱できます。
GFB450
炉体口径を太くした、中型サイズのシステム製品です。
2inch程度の試料を複数枚同時加熱ができます。
GFC650V
GF型は上記サイズ以外に特注品の製作ができます。
複数の加熱ゾーン分けにより温度勾配を付ける、縦型使用、電磁誘導対策など、カスタム化もご相談ください。