サーモ理工-電気炉-優れた温度分布・昇温降温が早い電気炉
  TOP製品案内 > 均温熱処理装置 GFシリーズ
優れた均温特性を持つ管状炉です。
炉長の約7割が均一な温度になりますので、大きな試料や複数の試料を同時に処理できます。
試料に合わせてホルダーをカスタマイズできます。(オプション)
優れた均温特性
真空、大気、ガスフロー等各種加熱条件に対応。(超高真空モデルもあります。)
昇降温速度が早い
 
シリコンウエハー、セラミックス、圧電材料等の熱処理
加熱中電気抵抗測定
CVD装置
カーボンナノチューブの作成
粉体試料の加熱
大型生産炉の加熱条件確認
鉄鋼材、金属材料の焼鈍
昇温中試料への紫外光照射
単結晶の生成
均温熱処理装置には、炉の大きさにより下記のモデルがあります。
 
モデル名 GFC650V GFA430VN GFA430UHV GFB450
 最高到達温度 1000℃
 常 用 温 度 900℃
 均 温 容積(mm) 約φ55×300 約φ36×200 約φ36×350
 昇 温 速 度 室温から1000℃まで30min 
 降 温 速 度 1000℃から100℃まで約1H (強制空冷で約30min)
 最大到達真空度 5×10-4Pa 5×10-6Pa  5×10-4Pa
 電  力 3kW  1.5kW 2kW
 冷却水量 1L/min 不要 1L/min 
GFC650V型
GFA430VN型
GFA430UHV型
GFB450型
特注品
クリーン雰囲気昇温
均温容積φ55×300mmの均温熱処理装置
温度分布 1000℃±5℃
2inch程度の試料を複数枚同時加熱ができます。
GFC650V
卓上サイズで熱処理できるベストセラー器です。
小型ながらφ36×200mmの均温容積を持ち、複数の試料を同時処理できます。
両端の真空フランジ部にはNW40と1/4パイプ継手があり、真空置換後にガスフローしながら試料を加熱できます。
GFA430VN
超真空熱処理炉心管を使用し、10-6Paの超高真空中加熱ができます。
酸化を嫌う金属の熱処理に最適です。
ロードロック室や試料搬送などのオプションもご用意しております。
GFA430UHV
炉長500mmの均温熱処理装置
細長い試験片の熱処理用
GFB450
φ200×500mmL等の大型サイズ品の製作もできます。
複数の加熱ゾーン温度勾配炉、縦型使用、電磁誘導対策など、カスタム化もご相談ください。