サーモ理工-グラフェンSiC熱分解生成、SiC活性化熱処理、超高温材料の加熱
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独自の赤外線加熱技術の採用で1800℃まで、わずか30secで急速昇温試験が行えます。
1800℃の超高温急速昇温を、消費電力2kWで実現。
超高温モデルながら、熱による炉心管へのダメージを最小限に抑える構造を採用しています。
1800℃まで、30sec以内で到達
赤外線照射によるクリーン加熱
わずか2kWの省電力
高真空型、ガスフロー型の各機種
グラフェン/SiC活性化熱処理
SiC活性化熱処理
超高温材料の加熱
電子材料のヒートサイクル試験
超高温スーパーRTA装置には、下記仕様の製品があります。
モデル名 SR1800G SR1800D SR1800
 赤外線ランプ定格 2kW
 最高到達温度 1800℃
 加 熱 面 積 φ15mm
 最大昇温速度  100℃/sec 300℃/sec 
 ガス導入 ガスフロー ガスパージ 
 最大到達真空度  5×10-3Pa 5×10-5Pa 
 冷 却 水 量 2L/min
SR-1800 原理図
ガスフロー型スーパーRTA装置 SR1800G型
卓上型スーパーRTA装置 SR1800D型
超高温超高速スーパーRTA装置 SR1800型
SR1800型にガス流路を改善しガスフロー中試験に最適な構造としました。
また、加熱機能以外をスリム化し低価格化も実現。
より多くの研究者の皆様に、お使いいただける装置になりました。
SR-1800G
SR1800型の加熱能力、扱いやすさをそのままに、チャンバー部の小型化などで卓上サイズに小型化した製品です。
SR-1800D
SR1800シリーズの高性能モデルです。
SR1800は、回転楕円反射ミラー内に試料を設置し高効率熱処理を行います。
本装置は、多数のポートを持つ真空チャンバー、保安回路、加熱本体部上下機構などを組み合わせ拡張性の高い装置となっています。
真空チャンバー部にはターボ分子ポンプを取り付けられ、10-5Paの高真空に対応。
オプションでガス圧調整など各種実験に対応いたします。
本装置は東京都新製品開発助成事業の交付を受け開発した製品です。
SR-1800